一种移相干涉仪的抗振动方法

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201710045037.X （22）申请日 2017.01.22

（71）申请人 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

地址 621999 四川省绵阳市919信箱658分箱

（10）申请公布号 CN106840418B

（43）申请公布日 2019.04.16

书

（72）发明人 刘乾;袁道成;何华彬;何建国 （74）专利代理机构 中国工程物理研究院专利中心

代理人 翟长明

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种移相干涉仪的抗振动方法

（57）摘要

本发明公开了一种移相干涉仪的抗振动方

法，该方法中的移相干涉仪相机在打开和关闭像素组合功能下以高速采集第一组移相干涉图和以低速采集第二组移相干涉图。第二组移相干涉图经过均匀采样后的得到与第一组移相干涉图分辨率相同的第三组移相干涉图。使用修正三步迭代算法从第一组移相干涉图中提取低分辨率位相分布，并以其作为初始值利用修正三步迭代算法从第三组移相干涉图中计算时间相关参量。按比例

缩放时间相关参量后，结合第二组移相干涉图构造最小二乘方程，计算高分辨率位相分布，最终重构被测表面高度。本发明方法充分利用了移相干涉仪相机的像素组合功能和修正三步迭代算法的特点，使用较低硬件成本较好地达到了移相干涉仪对抗振动的目的。

法律状态

法律状态公告日2017-06-13 2017-06-13 2017-06-13 2017-07-07 2017-07-07 2019-04-16

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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