（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201210502875.2 （22）申请日 2012.11.30
（71）申请人 峨嵋半导体材料研究所
地址 614200 四川省乐山市峨眉山市符北路88号
（10）申请公布号 CN102992286A
（43）申请公布日 2013.03.27
（72）发明人 段榆忠;詹科;华鹏
（74）专利代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人 敖欢
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
高纯磷化锌的制备方法
（57）摘要
本发明公开了一种高纯磷化锌的制备方
法，包括如下步骤：1）石英管预处理，2）配料，3）封管，4）高温合成，5）产品处理，本发明使用高纯磷和高纯锌直接化和生产高纯磷化锌，主要的反应过程发生在温度达到锌的熔点之后，实际属于蒸汽之间的反应，属于元素直接合成法，对原料的形态要求不很严格，原料未经过加工处理，满足高纯的要求，本发明通过缓慢升温、恒温、缓慢降温等控温操作控制管内压力，
以及对合成石英管加热区域、冷凝区域长度分配，成功的控制石英管内磷蒸气压，实现较大量磷化锌的安全合成；通过冷凝区域及加热区域长度的控制，实现产品的较高成品率，产品用于光电器件制作、扩散源、纳米材料等应用领域。
法律状态
法律状态公告日
2013-03-27 2013-04-24 2014-08-06
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
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公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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